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2019, v.5(23) 128-129

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氯硅烷提纯工艺中树脂除杂技术研究进展

周国峰;许正清;

摘要(Abstract):

氯硅烷作为生产电子级多晶硅的重要原料,即使原料中含有微量的杂质,最终也会影响电子级多晶硅产品纯度,由于杂质和氯硅烷的沸点相近,通过传统工艺很难去除。基于此,文章就氯硅烷提纯工艺中新型树脂除杂技术的应用做了分析与探讨。

关键词(KeyWords): 氯硅烷;树脂;提纯;硼;磷

Abstract:

Keywords:

基金项目(Foundation):

作者(Author): 周国峰;许正清;

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