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2019, v.5(23) 125-126

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浅谈洁净用品在高纯多晶硅后处理过程中的重要性

李生全;陈叮琳;

摘要(Abstract):

高纯多晶硅作为电子材料的基石,其纯度及表金属杂质的控制是有严格要求的,当多晶硅通过一系列复杂的工艺从还原炉中生长出直至到下游厂家,其中的各个流程都有二次污染的风险,为了尽量减少或杜绝产品的污染,我们需要借助许多工具或物品设施来实现,这样就对过程中接触多晶硅的物品要求提出了考验,无论是运输车辆还是破碎工具等。文章针对在多晶硅后处理过程中为隔离杜绝人接触而污染产品的洁净用品分析探讨,重点从洁净手套方面分析高纯多晶硅后处理中质量保证的特殊性和重要性,从而对有效的控制管理措施提供科学的依据。

关键词(KeyWords): 高纯多晶硅;后处理;洁净用品

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基金项目(Foundation):

作者(Author): 李生全;陈叮琳;

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